AmbelePompă de vid și compresorsunt dispozitive pentru procesarea gazelor, dar principiile lor de lucru și sfera de aplicare sunt diferite.
Principala funcție a pompei de vid este de a îndepărta gazul din camera de reacție pentru a reduce presiunea din recipient pentru a obține un grad de vid predeterminat. Gazul este extras din spațiu prin mecanismul de aspirație și evacuare pentru a forma o stare de vid. Pompele de vid sunt de obicei utilizate în laboratoare, producție și câmpuri de fabricație. În fabricile de wafer, echipamente de gravare, echipamente de depunere, echipamente de litografie EUV, echipamente de implantare ionică, echipamente de detectare și caracterizare, etc., toate trebuie să fie aspirate.
Funcția compresorului este de a inhala gazul și de a -l comprima, de a crește presiunea gazului, de a comprima gazul într -un volum mai mic și de a crește densitatea și presiunea gazului. Principiul său de lucru este de a comprima gazul prin supapa de evacuare, apoi de a pune gazul comprimat într -un rezervor de gaz sau un alt echipament. Compresoarele sunt de obicei utilizate în câmpurile și fabricarea câmpurilor. Gazul CDA despre care vorbim adesea este oferit de compresor. CDA este utilizat pentru a controla diverse echipamente și supape de automatizare. Pentru fabricarea semiconductorilor, CDA trebuie să fie foarte pură și uscată. Ieșirea de aer de către compresor trebuie să treacă printr -un sistem sofisticat de filtrare pentru a îndepărta uleiul, umiditatea și alte particule pentru a se asigura că nu există contaminare a plafonului.
Care sunt categoriilePompă de vid și compresor?
În echipamentele cu semiconductor, pompele uscate și pompele moleculare sunt frecvent utilizate. O pompă uscată se referă la o pompă de vid care nu folosește niciun lichid ca mediu de etanșare sau de răcire, evitând problema contaminării vaporilor de ulei. În general, este utilizat pentru extragerea brută a vidului de echipamente cu semiconductor. Pompele moleculare pot atinge niveluri de vid extrem de ridicate. Pompele uscate și pompele moleculare sunt adesea utilizate în combinație în echipamentele semiconductoare pentru a răspunde nevoilor diferitelor niveluri de vid.
Compresoarele pot fi împărțite în piston, șurub, centrifugal, compresoare de aer cu paletă rotativă, etc.
Datorită diferitelor proiecte și principiilor de lucru ale pompei și compresorului de vid, pompele de vid nu pot înlocui de obicei compresoare. Deși pompele de vid pot reduce presiunea și densitatea gazelor, acestea nu pot comprima gazele în volume mai mici și presiuni mai mari. În plus, datorită performanței limitate și a caracteristicilor de lucru ale pompelor de vid, acestea sunt cele mai potrivite pentru manipularea gazelor de densitate joasă și a mediilor de joasă presiune.
Prin urmare, dacă gazul trebuie comprimat într -un volum mai mic și o presiune mai mare, trebuie utilizat un compresor. Dimpotrivă, dacă gazul trebuie să fie extras și se formează o stare de vid, trebuie utilizată o pompă de vid.
Deși ambelePompă de vid și compresorsunt dispozitive utilizate pentru procesarea gazelor, există mari diferențe în proiectarea și principiul de lucru. Deși pompa de vid poate reduce presiunea și densitatea gazului, nu poate înlocui compresorul, mai ales atunci când gazul trebuie să fie comprimat într -un volum mai mic și o presiune mai mare.
